某半导打造各个企业因晶圆清洁多种工序有含氨生产废水，储水量200吨/天。生产废水里面除氟化物外还包含的氟化物和少量巨资属，除理一定的难度大。位置减排标准条件氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废渣化学物质及的来源 晶圆刷洗污废水 （主要來源）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺流程电镀废水：含氢化物发生器铜、镍等血本属，pH值振幅大 CMP研磨设备工业废水：含硅小粒及高锰酸盐指数 操作艺操作流程 采取"普通机械滤渣+膜破乳+折点氯化"搭配制作工艺： 废水处理工艺 ：加药系统CaCl2除氟，抑制pH在7.5-8. 反渗透膜机系统 ：彻底清除0.01μm上文颗粒物 反浸入高浓 ：将挥发酚高浓至1000mg/L以下 折点氯化 ：精度调控氯添加量，将氟化物转化率为离氮气 阳离子交易 ：保驾护航巨资属符合标准 终结结果 氟化物稳定性＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含锌量不低于监测限 水回收率达75% 废水带来量降低40%