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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体鑫霖环保芯片鑫霖环保芯片制造技术厂在晶圆手工加工时中,用到硅烷做硅外加种子发芽,排放洗衣机清洗塔形成亚砷酸钠值含硅废水处理处理工艺。废水处理处理工艺具有着pH震荡大(2-11)、硅含磷量高的共同点,传统型处理措施易有硅垢堵死问題。 化工废水材料及渠道 废污水核心化学物质为: 充分均匀溶解性硅酸盐 :SiO₂密度达1000-1500mg/L 氢氧化的钾/氢氧化的钠 :洗衣机清洗塔酸碱平衡洗衣机清洗液杂质 颗粒状硅 :微米级SiO₂固体 痕量砷 :制造原材料不溶物带往 办理加工过程流程图 创新发展适用"有级采和+膜滤出+汽化沉淀"技术: 3级与 :用CaO调准pH至4-5,产生硅酸钙析出,硅消除率60%。 五级采和 :加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进步骤析出超过硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置系统软件 :0.02μm瓷器膜净化微米级硅颗粒状,通量稳定可靠在80LMH。 MVR冷凝器器 :提液高盐废渣,沉淀出Na₂SO₄副的产品,水使用率超90%。 决定目的 总硅从1500mg/L减少为5mg/L一下 砷纯度从0.8mg/L低于0.01mg/L 操作系统无积垢使用多于2年 每一年的环保再生资源回收氢氧化钾钠晶状体约800吨

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