该厂为8英尺晶圆生产的线配备的超净水系统的，整天产生含硅废液150吨。废液中虽无高价属，但硅分子量高易积垢，且内阻率需可达18MΩ·cm才会使用。原本有外工院艺不能够满足新颁布法律的《电子器件行业水的污染源尾气进行排放标》（GB39731-2020）尤为尾气进行排放允许值。 废液组成成分优势 关键被污渍 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗料硅（粒度分布0.1-1μm） 特异规定要求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 土质基本特征 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机化合物特性很复杂 进行处理生产工艺标准流程 企业创新选用"梯级膜提取+电去正离子"搭档技术： 微滤预操作 ：1μm瓷质膜阻止大粒状硅，通量能维持80LMH 铁离子交互树酯 ：D201大孔光敏树脂使用性吸咐硅酸碳原子 二次元RO机系统 ：1段回收利用率60%，第二个段利用高脱硼膜电气元件 EDI电去正离子 ：电流值密度计算公式2A/m²，连续的还原多余阴阳离子 分光光度计灭菌 ：254nm紫外线的线极量40mJ/cm² 枝术成效 开放专业级阻硅剂（有机的胺类包覆物），减缓膜破坏时间是3倍 EDI传感器全新流道设计，硅的还原率增强至99.8% 线上硅介绍仪（检测的位置0.1-500μg/L）保证有目的掌握 启动初步成效 经3、方检测工具： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降下来0.3μg/L 软件系统二手回提取率从原40%升级至68% 膜变更周期公式增长至5年，年使用利润削减35%