该晶圆制作业厂座落华东沿海地区沿海地区,核心的生产方式8英尺半导体技术晶圆,单日化工废水排卸量约800吨。鉴于的生产方式方式中使用的过量氢氧化钠去晶圆蚀刻,造成化工废硫酸铜溶液氟化物氧浓度高达模型200-300mg/L,远超的国家排卸原则(10mg/L这)。
生产废水的成分及主要来源
电镀废水大部分存在五个关键点:
晶圆蚀刻制作工序
:含高密度氟化物(HF)、硝酸铵及一些天价属
化学上的自动化设备打磨抛光(CMP)生活污水
:含纳米技术级硅颗粒肥料、充分络合剂
生产设备的清洗化工废水
:含异丙醇、氧化还原电位等充分物
办理加工过程方案
选择"物理化学石雕文化积累+混疑石雕文化积累+程度过滤器"三級办理整体:
4级处置
:污泥脱水氯化钙和氢氧化反应钙,产生氟化钙沉淀自己,氟化物剔除率达85%
一级处理
:增添PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),我们要除氢氧化铁态被污染
三阶段处置
:经过多媒介滤出器和几丁质酶炭溶解,出水量氟化物盐浓度不稳定性在8mg/L接下来
要点主设备收录:pH一键转换系统软件、斜管沉淀物池、板框压滤设备(飞灰缺水)。
终究使用效果
内容自动运行六年监控数据资料体现:
氟化物均值浓度值:7.2mg/L(低过的国家行业标准的)
COD出掉率:92%
污水含水分率:≤65%
年收购 氟化钙副新产品约150吨,保证资源共享化回收利用